강의계획서

과목명 디스플레이-반도체 공정
Display-Semiconductor Process
운영대학 충남대학교 교과구분
(교과목코드)
전공선택
(DSCU000000111)
담당 교수 성명 홍기현
운영학과 모빌리티소부장 소속 충남대학교 신소재공학과
학점시수
(학점/이론/실습)
3/3/0 개설년도
/학기
2022년 2학기 연락처 042-821-5636
이메일 khong@cnu.ac.kr
교과목표 및 개요 반도체 소자 및 디스플레이 제조 공정에 대한 개념 이해
주 핵심역량과
교과목간
연계성
핵심역량(%) 모듈화(Modularity) 통합(Integration) 확장(EXtension)
ICT기술활용
역량
시스템 사고
역량
프로젝트 실행
역량
융합적 해결
역량
창의적 혁신
역량
테크니컬
커뮤니케이션
역량
진로학습
역량
지역사회공헌
역량
심미적 감성
역량
역량기반
학습목표
핵심역량 학습목표
수업방법(%)
강의 토의/토론 실험/실습 현장학습 발표 기타
교수법
(선택)
문제중심학습 프로젝트기반학습 플립러닝
성적평가(%)
출석 중간고사 기말고사 과제 토론 기타
10 90
기타 안내사항 반도체 물성, 소재 관련 과목을 이수한 학생들의 수강을 추천함
주차 수업내용 교재범위 및 과제물 비고
1 서론, 반도체 기초
2 기본 반도체 공정 흐름도
3 반도체 웨이퍼 제작 공정(1)
4 반도체 웨이퍼 제작 공정(2)
5 식각 공정의 이해
6 리소그래피 원리 (1)
7 리소그래피 원리 (2)
8 불순물 도핑 공정 (1)
9 불순물 도핑 공정 (2)
10 식각 공정
11 박막 증착 기술
12 산화막 성장 (oxidation)
13 진공의 이해 및 응용
14 측정 및 분석
15 차세대 반도체 공정 기술