강의계획서
강의계획
수업내용
과목명
마이크로나노시스템
Maicro and Nano System
운영대학
공주대학교
교과구분
(교과목코드)
전공선택
(DSCU000000108)
담당 교수
성명
양대종
운영학과
모빌리티소부장
소속
공주대 기계시스템공학전공
학점시수
(학점/이론/실습)
3/3/0
개설년도
/학기
2022년 2학기
연락처
041-521-9286
이메일
daejong@kongju.ac.kr
교과목표 및 개요
본 강의에서는 센서 소자에서 적용된 마이크로/나노 소자에 대한 기초 지식을 습득한다.
마이크로/나노 소재의 합성, 소자의 제작 방법, 센서소자로의 작동 원리를 학습한다.
주 핵심역량과
교과목간
연계성
핵심역량(%)
모듈화(Modularity)
통합(Integration)
확장(EXtension)
ICT기술활용
역량
시스템 사고
역량
프로젝트 실행
역량
융합적 해결
역량
창의적 혁신
역량
테크니컬
커뮤니케이션
역량
진로학습
역량
지역사회공헌
역량
심미적 감성
역량
역량기반
학습목표
핵심역량
학습목표
수업방법(%)
강의
토의/토론
실험/실습
현장학습
발표
기타
교수법
(선택)
문제중심학습
프로젝트기반학습
플립러닝
성적평가(%)
출석
중간고사
기말고사
과제
토론
기타
10
40
40
10
기타 안내사항
주차
수업내용
교재범위 및 과제물
비고
1
마이크로 공학 소개 및 미세 제작 기술
2
전기적ㆍ기계적 필수 개념의 소개 / 정전기적 센싱과 액추에이션
3
열 센싱과 액추에이션 / 압저항 센서
4
압전 센싱 및 액추에이션 / 자기 액추에이션 / 센싱과 액추에이션 요약
5
벌크 미세 가공 기술과 실리콘 비등방성 식각
6
표면 미세 가공 / 폴리머 MEMS
7
마이크로 유체공학의 응용 / 광학 MEMS
8
중간고사
9
나노 기술의 소개 및 고체표면의 물리화학
10
영차원 나노구조체 : 나노입자
11
일차원 나노구조체: 나노선 및 나노막대
12
이차원 나노구조체: 박막
13
특수 나노재료 / 물리적 기법으로 제조되는 나노구조체
14
마이크로/나노 소재 측정 및 분석법
15
기말고사